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ASML成功交付英特爾首臺高數(shù)值孔徑光刻設(shè)備

   發(fā)布時間:2023-12-22 16:41

【沃資訊】12月22日消息,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML公司最近通過其官方推特賬號宣布,已成功向美國半導(dǎo)體巨頭英特爾交付首臺高數(shù)值孔徑光刻設(shè)備。

根據(jù)之前的報道,ASML公司的高數(shù)值孔徑光刻設(shè)備專門用于生產(chǎn)2納米工藝的半導(dǎo)體芯片,其光學(xué)性能的數(shù)值孔徑(NA)已從0.33提升至0.55。這一技術(shù)的突破具有重要意義,將有望推動半導(dǎo)體行業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。

據(jù)沃資訊了解,ASML公司明年的產(chǎn)能計劃僅為10臺,然而英特爾已經(jīng)預(yù)定了其中的6臺。不過,ASML公司計劃在未來幾年內(nèi)將該設(shè)備的產(chǎn)能提高至每年20臺,以滿足不斷增長的市場需求。

這臺由ASML公司交付的新型高數(shù)值孔徑EUV(極紫外光刻)系統(tǒng)配備了0.55數(shù)值孔徑的鏡頭,分辨率達(dá)到8納米,展現(xiàn)出令人矚目的性能。

ASML公司官方并未透露具體交付的光刻設(shè)備型號,但非官方消息源稱,這次交付的可能是Twinscan EXE:5000原型,交付地點(diǎn)位于英特爾在俄勒岡州的研究中心。

報道指出,這次交付共采用了250個大型包裝箱,占用了13個集裝箱的空間,考慮到后續(xù)的安裝和調(diào)試,實際投入使用還需要數(shù)月的時間。

此外,有報道稱,英特爾在量產(chǎn)過程中將采用更先進(jìn)的ASML Twinscan EXE:5200光刻設(shè)備,預(yù)計每臺設(shè)備的成本將高達(dá)2.5億歐元,這也表明了英特爾在推動半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的投資和發(fā)展。

 
 
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