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三星電子致力研發半導體工藝控制新技術

   發布時間:2023-12-26 15:07

【沃資訊】12月26日消息,韓國三星電子公司近日宣布正積極研發一款全新的"智能傳感器系統",旨在應用于半導體工藝的控制和管理領域。

半導體生產過程中,提高半導體良率的關鍵之一在于確保等離子體的均勻性和密度。這款被稱為"智能傳感器系統"的新技術將用于測量晶圓等離子均勻性,并精確測量以及管理蝕刻、沉積和清洗等工藝性能,有望大幅提升半導體的良率和產能。

以往,三星電子大多采購國外廠商生產的晶圓智能傳感器,投入了數千萬韓元的巨資。然而,近期對于提高產量的需求急速增長,這促使三星電子決定自主研發,以減少對外國傳感器的依賴程度。

據悉,三星電子正在研發的這款智能傳感器體積微小,不會對現有設備的空間布局產生重大影響,這將意味著不僅可以提高生產空間的有效利用,還能夠提升產能。

據沃資訊了解,三星電子計劃逐步擴大智能傳感器的研發和應用范圍,其目標不僅僅局限于等離子體領域,還將研發可用于各種半導體工藝的SMART傳感器和系統。這一舉措顯示了三星電子在半導體領域持續創新的決心,有望推動其在全球半導體市場中的競爭力進一步提升。

 
 
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