【沃資訊】12月26日消息,韓國(guó)三星電子公司近日宣布正積極研發(fā)一款全新的"智能傳感器系統(tǒng)",旨在應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的控制和管理領(lǐng)域。
半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,提高半導(dǎo)體良率的關(guān)鍵之一在于確保等離子體的均勻性和密度。這款被稱為"智能傳感器系統(tǒng)"的新技術(shù)將用于測(cè)量晶圓等離子均勻性,并精確測(cè)量以及管理蝕刻、沉積和清洗等工藝性能,有望大幅提升半導(dǎo)體的良率和產(chǎn)能。
以往,三星電子大多采購(gòu)國(guó)外廠商生產(chǎn)的晶圓智能傳感器,投入了數(shù)千萬(wàn)韓元的巨資。然而,近期對(duì)于提高產(chǎn)量的需求急速增長(zhǎng),這促使三星電子決定自主研發(fā),以減少對(duì)外國(guó)傳感器的依賴程度。
據(jù)悉,三星電子正在研發(fā)的這款智能傳感器體積微小,不會(huì)對(duì)現(xiàn)有設(shè)備的空間布局產(chǎn)生重大影響,這將意味著不僅可以提高生產(chǎn)空間的有效利用,還能夠提升產(chǎn)能。
據(jù)沃資訊了解,三星電子計(jì)劃逐步擴(kuò)大智能傳感器的研發(fā)和應(yīng)用范圍,其目標(biāo)不僅僅局限于等離子體領(lǐng)域,還將研發(fā)可用于各種半導(dǎo)體工藝的SMART傳感器和系統(tǒng)。這一舉措顯示了三星電子在半導(dǎo)體領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新的決心,有望推動(dòng)其在全球半導(dǎo)體市場(chǎng)中的競(jìng)爭(zhēng)力進(jìn)一步提升。