【沃資訊】12月26日消息，韓國三星電子公司近日宣布正積極研發(fā)一款全新的"智能傳感器系統(tǒng)"，旨在應用于半導體工藝的控制和管理領域。

半導體生產(chǎn)過程中，提高半導體良率的關鍵之一在于確保等離子體的均勻性和密度。這款被稱為"智能傳感器系統(tǒng)"的新技術將用于測量晶圓等離子均勻性，并精確測量以及管理蝕刻、沉積和清洗等工藝性能，有望大幅提升半導體的良率和產(chǎn)能。

以往，三星電子大多采購國外廠商生產(chǎn)的晶圓智能傳感器，投入了數(shù)千萬韓元的巨資。然而，近期對于提高產(chǎn)量的需求急速增長，這促使三星電子決定自主研發(fā)，以減少對外國傳感器的依賴程度。

據(jù)悉，三星電子正在研發(fā)的這款智能傳感器體積微小，不會對現(xiàn)有設備的空間布局產(chǎn)生重大影響，這將意味著不僅可以提高生產(chǎn)空間的有效利用，還能夠提升產(chǎn)能。

據(jù)沃資訊了解，三星電子計劃逐步擴大智能傳感器的研發(fā)和應用范圍，其目標不僅僅局限于等離子體領域，還將研發(fā)可用于各種半導體工藝的SMART傳感器和系統(tǒng)。這一舉措顯示了三星電子在半導體領域持續(xù)創(chuàng)新的決心，有望推動其在全球半導體市場中的競爭力進一步提升。