近日，全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備制造商Lam Research泛林集團，正式揭曉了其創(chuàng)新研發(fā)的Dextro協(xié)作機器人。這款機器人專為半導(dǎo)體制造設(shè)備的維護工作設(shè)計，并已成功應(yīng)用于全球多家頂尖晶圓廠。

Dextro是一款搭載于推車上的移動機械臂系統(tǒng)，由專業(yè)的技術(shù)人員或工程師操作。它配備了多種“手部工具”，能夠高效地完成三項關(guān)鍵的設(shè)備維護任務(wù)。相比人工操作，Dextro在安裝和壓縮易損件時的精度提升了一倍；在擰緊高精度真空密封螺栓時，能夠避免人類員工因重復(fù)性任務(wù)而產(chǎn)生的5%錯誤率；同時，它還能在不拆卸下腔室的情況下，自動清除腔室側(cè)壁上的聚合物堆積，這一任務(wù)以往需要工作人員佩戴重型呼吸防護設(shè)備才能完成。

Dextro的引入，意味著晶圓廠工程師可以擺脫那些耗時、易出錯或危險的維護工作，從而提升整體工藝的精確度，減少勞動力需求，降低材料浪費，縮短停機時間，最終提高晶圓廠的產(chǎn)量。

據(jù)悉，單個Dextro協(xié)作機器人能夠為50至100個泛林工具腔室提供服務(wù)，目前它已支持泛林旗下的Flex G / H系列介電刻蝕工具，并計劃從2025年開始擴展到其他工具和應(yīng)用。

三星電子副總裁兼內(nèi)存蝕刻技術(shù)團隊負(fù)責(zé)人Kim Young Ju對此表示：“在制造設(shè)備需要維護時，快速高效地完成工作是至關(guān)重要的，以避免延長工具停機時間和增加成本。Dextro的無差錯維護能力，有助于提升生產(chǎn)的可變性和產(chǎn)量，這是三星向自主工廠邁進的一個重要里程碑。”

Dextro的推出，無疑為半導(dǎo)體制造業(yè)帶來了一股新的技術(shù)革新潮流。它不僅提升了設(shè)備維護的效率和精度，還為晶圓廠的生產(chǎn)效率和產(chǎn)量提升提供了新的可能。