近日，ASML新任CEO透露，兩臺售價約3.5億美元的High NA EUV光刻機已在英特爾完成安裝。作為全球最尖端且價格最高的光刻機，High NA EUV被視為EUV光刻機的升級版，而非全新產品，預計其推出和采用將相對迅速。

然而，臺積電因成本考慮，至今尚未接納High NA EUV。此舉被外界視為與ASML進行條件談判的策略。

去年年底，EUV光刻機已運抵英特爾位于俄勒岡州的D1X工廠，計劃于2025年年底投入生產。

ASML此前展示的EUV光刻機內部畫面引起了廣泛關注，甚至有網友擔憂國產廠商可能進行逆向復刻。